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Improving Product Value With TSM R&D



30um~100um 의 매우 얇은 기판(UTG외)을 세정하기 위해 기존 초음파 DIPPING 방식 세정을 매엽식으로 세정할 수 있도록 개발된 설비로 다양한 부유 이물 또는 고착성 이물을 제거하고 세정존의 구성에 따라 유기성 이물까지 제거할 수 있는 세정 시스템으로 전,후 투입 및 배출은 인라인 물류 시스템으로 구성 가능



Slit Coating / Inspection / LED UV
인라인 물류에서 로봇으로 공급된 판넬을 Vision Align후 Slit Coating과 UV경화를 순차적으로 한 설비에서 진행할 수 있도록 구성하고 Coating두께 자동 검사

Precise Micro Pump
3.5~20cps범위의 Photo Resist, BM과 같은 저점도부터 1,5000~20,000cps의 고점도 OCR까지 대응 가능한 고정도 토출펌프 개발

Slit Coating Nozzle
코팅 품질에 영향이 큰 부품인 노즐을 코팅 약액의 특성에 맞게 설계 및 제작해 코팅 Uniformity 확보 및 유지보수가 용이하도록 Lip부 반영

OUR MISSION
Perfect Repair Through Vision Inspection
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